传光刻

中科院传光刻机突破，EUV光源、双工件台接连突破，只差光学镜头

芯片领域的发展一直是全球关注的重点，光刻机作为芯片制造的基础，一直是我国难以跨越的鸿沟，尤其是在高端光刻机方面，不过功夫不负有心人，我国在光刻机领域终有所进展。 EUV光源、双工件台接连突破 上海微电子作为我国光刻机行业的领军企业 ，近些年的...