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0.1nm!央视:国内首台光镜镀膜设备投用,光刻机的最后一块拼图
根据零部件效力程度划分,EUV光刻机共分三个核心部件:双工件台、EUV光源、EUV光学镜头。目前我国已经成功攻坚适用于EUV光刻机设备的EUV光源、双工件台系统。EUV光学镜头成为我国实现高端芯片制程的最后一块拼图。 我是柏柏说科技,资深半导体科技爱好者。...
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