中国芯片刻蚀机17年突围战

2004年，已经60岁的尹志尧，带领一群志同道合的人，两手空空踏上了飞往中国的班机。

从此，“硅谷最有成就华人”的荣耀已成过往。等待他的，是想办法突破中国等离子刻蚀机的空白。刻蚀机是雕刻出每一枚芯片电路的纳米级“手术刀”，这个挑战艰巨且紧迫。

2004年5月31日，中微半导体设备公司（下称中微公司）在上海市牛顿路的一间办公室中注册成立。

17年过去了，尹志尧已经77岁，仍然奋斗在一线，而中微公司则已经成为技术一流的刻蚀机企业，台积电制造最先进的5纳米芯片，也会用到中微的刻蚀机。

最近4个月时间里，中微公司的股价涨了130%，市值超过1200亿元，成为资本市场的宠儿，甚至有越来越热之势。

在资金短缺、巨头专利打压的困境中，一位60岁老人到底是如何率队完成这场国产刻蚀机突围奇迹的？刻蚀机的成功突围，又能给芯片产业链的其他环节带来什么启发？

01、尹志尧负重回国

当年，如果走进中微公司上海市牛顿路的办公室，可以看到十余人在这间办公室忙碌穿梭，气氛与其他创业团队别无二致。

但这是一个极其特殊的创业团队，团队平均年龄已过半百，基本是等待退休的年纪。

如果有对硅谷熟知的人进到这个办公室，一定会大吃一惊。团队带头的尹志尧时年60岁，曾是硅谷高科技企业应用材料的副总裁；57岁的麦仕义，曾是应用材料公司资深总监；46岁的李天笑，曾是应用材料公司亚太项目经理……

（中微公司创始人、董事长、CEO尹志尧）

是什么样事情，能够让这群高龄精英汇聚，重新创业？答案是造出国产等离子刻蚀机的梦想。

如果把制造芯片类比为在晶圆上画刻版画，刻蚀就是依照图样雕刻出所需的电路图案。芯片越先进，所需的制程越小，微观图案的“分辨率”就越高，对刻蚀机精度的要求也就越高。

据产业人士向市界估算，一个月产不到5万片的8英寸CMOS工艺晶圆厂，需配置不同类型的刻蚀机合计四五十台。其中的等离子刻蚀机，单台价格在400万～500万美元以上。

如此庞大的市场，中国企业却长时间缺席。美国的应用材料公司和泛林公司、日本的东京电子公司这三巨头蚕食了90%以上的市场份额。

2004年，时任上海市经委副主任、曾推动中芯国际落地上海的江上舟，正为国产等离子刻蚀机的市场空白发愁。

那一年的上海世界半导体设备展上，尹志尧以应用材料公司副总裁、刻蚀产品事业部总经理的身份参展，与江上舟不期而遇。

尹志尧先后在泛林半导体和应用材料任职、主导几代刻蚀技术演进、手握89项美国专利和200多项海内外专利，正是江上舟寻觅许久的良才。

彼时江上舟已罹患肺癌，仍系心国内刻蚀机的自主研发，多番动员尹志尧回国创业。对尹志尧高龄回国的踌躇，江上舟豪言：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出这半条命，也想为国家造出光刻机、等离子刻蚀机，我们一起干吧！”

这一席话，坚定了尹志尧的创业决心。随后经尹志尧游说，麦仕义等十余位硅谷人才一同归国，决意“瞄准”中国芯片刻蚀设备领域的空白。

（前中芯国际董事长江上舟）

随着刻蚀机领域三足鼎立的市场格局日益固化，下游的芯片制造厂商一旦选定长期合作伙伴，日后不会轻易更改。这留给中微追赶的时间十分紧迫。

要从夹缝中突围，中微唯一的活路是研发出精度更高、成本更低的机器。

2004年，中芯国际投入建设12英寸晶圆产线。中国的刻蚀机也做出了零的突破，北方华创向中芯国际天津厂出货了首台刻蚀机，但在技术水平上与国外有代际的巨大差距。中芯国际刚开始推进0.35～0.13微米的全面技术认证和量产，而国际先进水平是90纳米。

中微的日子也不好过。芯片产业是典型的技术密集和人才密集型行业，当时国内相关人才极其稀缺。中微虽然初创团队星光熠熠，但要做出国产的等离子刻蚀机，人才储备差得太远。

如此窘迫的境况下，尹志尧、麦仕义等人不得不把一分钟掰成两半用。同时，中微通过吸收归国留学生的方式，逐步扩大研发规模。

功夫不负有心人，到2007年，中微一举推出可用于65～16纳米制芯片制造的等离子体刻蚀机。

根据当时的相关报道，中微产品亮相之初就证明了自身的竞争力。几十次测试结果显示，中微刻蚀机加工每片芯片成本平均降低30～36%，借此逐步切进了台积电和中芯国际的采购体系。

02、巨头挥舞专利巨棒

凭借良好的性价比，中微公司的刻蚀机快速打开市场，订单随之而来。与此同时，这个年仅“三岁”的团队，迎来了另一场风暴。

2007年10月，中微公司被应用材料公司告上了美国法庭。应用材料主张，中微公司的首款设备中应用了自己的商业机密，理由包括尹志尧等多名中微员工是自己的前雇员等。

（中微公司等离子体刻蚀设备）

利用专利侵权问题发难，在全球芯片市场竞争中并不少见。专利侵权问题索赔金额大，耗时长，对实际经营和企业名誉都会产生严重影响，结果可能会左右一个企业的生死存亡。

比如中芯国际2003～2009年间与台积电的专利战打得难舍难分，最终以中芯国际落败、赔款2亿美元现金收场。经此一役，中芯国际创始人张汝京为担责而辞职，公司管理一度陷入混乱，直到2009年江上舟出任董事长才有好转。

幸运的是，同样的故事并未在中微公司上演。作为经验丰富的半导体老将，早在创业之前，尹志尧已经为可能的专利争端未雨绸缪。

在和有志回国创业的工程师接触初期，尹志尧就要求他们不带任何文件回国、不涉及任何商业机密，以避免法律纠纷。

因此，中微面对与应用材料的专利纠纷时底气十足，将已有的600万份文件交由有关部门彻查，被证明清白。

2009年，美国泛林半导体又在中国台湾状告中微专利侵权。8个月后，台湾法院驳回泛林半导体诉讼请求。

不仅如此，中微公司还反手给了泛林一记漂亮的法律反击。

在台湾与泛林展开专利拉锯战时，中微发现泛林半导体涉嫌窃取自己的技术文件。

中微随即在上海对泛林提起告诉。法院一审认定泛林存在侵权，要求其销毁持有的相关设备照片，不得披露、使用相关商业秘密，判令泛林赔偿诉讼相关支出90万元。

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